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BROOKS
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品牌简介
Brooks Automation(布鲁克斯)为半导体制造业、清洁能源、生命科学药物发现、生物银行和相关市场提供一流的自动化解决方案。主要产品包括:Brooks低温泵、Brooks深冷机、Brooks大气机械手臂、真空机械手臂等,Brooks大气机械手臂和模块是半导体材料处理应用的工艺设备和群集设备前端中高性能大气晶圆输送解决方案的组成部分。