用【多轮廓形状检查】工具来检查轮廓部分。抽取轮廓部分来创建掩膜图像的方式，也适用于缺陷检查。
搭载了多坐标，可简单设置复数检查。
抽出轮廓进行检查
＜良品模板和缺陷部分的对比＞
模板登记功能登记良品后与检查对象物作比较。轮廓特征不是点状，而是以最小2乘法来计算出来的线状。
抽出轮廓作成掩膜图像
把轮廓抽出部分作为掩膜图像来进行输出。掩膜部分可选择轮廓的外侧或内侧。与通常的掩膜不同，是每执行时进行轮廓抽取的动态掩膜。除了掩膜图像的检查，还能同时进行周边长或缺陷面积等轮廓部分的检查。
『多坐标』的复数检查
利用『多坐标』功能，可同时进行复数检查。
